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上海科創(chuàng)中心:啃“硬骨頭”攻“卡脖子”

周琳、董雪、何欣榮
2022年05月20日08:56 | 來源:新華社
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飛天,中國航天科技集團(tuán)八院主要參研的天舟四號貨運(yùn)飛船飛向天和,即將交付的首架C919大飛機(jī)首飛試驗(yàn)成功;

發(fā)光,中科院上海光機(jī)所邁出國產(chǎn)米級衍射光柵關(guān)鍵一步,突破“卡脖子”器件;

“芯”火,中芯國際一季度營收同比增長超六成,芯片重要制造企業(yè)保持90%以上產(chǎn)能……

正在建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心的上海,疫情下科技人不停歇,力保大科學(xué)裝置不停機(jī),重大國家任務(wù)不停擺,重要戰(zhàn)略企業(yè)不停鏈。

發(fā)光:突破“卡脖子”,邁向“百拍瓦”

1個太陽輻射到地球的總功率匯聚到一根頭發(fā)絲,相當(dāng)于1拍瓦。上海正在研制的百拍瓦級超短超強(qiáng)激光裝置,是張江光子大科學(xué)裝置集群的重要裝置之一。

其中,尺寸達(dá)到1.6m×1.05m(雙向米級,對角線接近2米)的脈沖壓縮光柵是系統(tǒng)的關(guān)鍵器件,也是支撐裝置實(shí)現(xiàn)國際領(lǐng)先水平必須突破的“卡脖子”元件。

“國內(nèi)外現(xiàn)有的光柵制備技術(shù)雖有多種,但都達(dá)不到如此大的尺寸;我們提出‘全口徑大面積反射式靜態(tài)曝光技術(shù)’的全新方案,并進(jìn)行了1年多的技術(shù)攻關(guān)。”中科院上海光機(jī)所黨委書記邵建達(dá)說。

要實(shí)現(xiàn)大口徑光柵制備能力,就必須讓大口徑高精度超低缺陷離軸反射鏡極致“光滑”。“這面反射鏡重約900公斤,和投影幕布差不多大,但對鏡面宏觀至微觀的全頻段誤差要求極高。”中科院上海光機(jī)所研究員魏朝陽說。

關(guān)鍵時期遭遇疫情,項(xiàng)目組成員主動在封控前隔離在所,吃住在實(shí)驗(yàn)室,連續(xù)奮戰(zhàn)已近兩月。

如今,不穩(wěn)定的關(guān)鍵難題已順利解決。“我國是首個實(shí)現(xiàn)10拍瓦輸出并能向用戶開放的國家,如今正在向百拍瓦邁進(jìn)。這場全球科技‘競賽’,不會因疫情而被拖延。”魏朝陽說。

運(yùn)轉(zhuǎn):“沿途下蛋”,高效轉(zhuǎn)化

在上海交通大學(xué)附屬瑞金醫(yī)院腫瘤質(zhì)子中心,國際前沿領(lǐng)域的精準(zhǔn)治癌重器——首臺國產(chǎn)質(zhì)子治療示范裝置的臨床試驗(yàn)正在緊張而又有序地進(jìn)行中,在疫情期間如期開展了180度旋轉(zhuǎn)束治療室的臨床試驗(yàn)。

這是由中國科學(xué)院、科學(xué)技術(shù)部、國家衛(wèi)健委與上海市政府戰(zhàn)略合作的重要項(xiàng)目,“十年磨一劍”實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)質(zhì)子治療裝置從“0”到“1”的飛躍。“我們3月就進(jìn)入閉環(huán)狀態(tài)了,爭分奪秒攻關(guān)關(guān)鍵部件、調(diào)試等問題。”瑞金醫(yī)院副院長陳海濤說。

這得益于大科學(xué)裝置“沿途下蛋”的高效轉(zhuǎn)化機(jī)制。陳海濤介紹,這是大科學(xué)裝置——上海同步輻射光源“鸚鵡螺”的轉(zhuǎn)化成果,“它是一個大科學(xué)設(shè)施,更是一個服務(wù)廣大老百姓、打破‘卡脖子’壟斷的醫(yī)療產(chǎn)品。”其中國內(nèi)首創(chuàng)的180度旋轉(zhuǎn)機(jī)架,能更多角度地精準(zhǔn)照射到腫瘤部位,避免損傷正常組織,給腫瘤患者帶來更佳的治療方案和選擇。

雖然難免受到疫情影響,集聚在上海的大科學(xué)裝置群仍不停歇。3月,上海軟X射線裝置調(diào)試工作連續(xù)取得突破性進(jìn)展;相距不遠(yuǎn)的硬X射線裝置也獲得重要進(jìn)展。4月30日,超導(dǎo)加速模組樣機(jī)完成第二次總裝并移交水平測試,標(biāo)志著階段工作任務(wù)完成。

穩(wěn)“鏈”:產(chǎn)能超九成,“芯”火不熄

芯片,被稱為“工業(yè)糧食”,代表了制造領(lǐng)域最精密的工藝。在集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模占全國1/4的上海,本輪疫情發(fā)生以來,龍頭企業(yè)的生產(chǎn)線始終未停。

芯片制造工廠需要24小時不停機(jī)。6000人逆行駐廠,數(shù)萬噸光刻膠“包機(jī)”抵滬,“24小時供應(yīng)鏈保衛(wèi)戰(zhàn)”打響,數(shù)十家設(shè)備廠商逆行陪伴……在華虹集團(tuán),4個基地、6條生產(chǎn)線的供應(yīng)鏈穩(wěn)定,一批批載著芯片生產(chǎn)物料的集裝箱運(yùn)進(jìn)來,一車車運(yùn)載著汽車芯片和功率器件的貨車動起來。

5月12日,華虹半導(dǎo)體一季度財報出爐,銷售收入再創(chuàng)歷史新高,達(dá)5.946億美元,同比上升95.1%。“在主管部門和各方支持下,協(xié)調(diào)克服疫情帶來的不利影響,提前周密部署,抗疫保產(chǎn)措施到位,這是團(tuán)隊(duì)齊心、運(yùn)營高效,保供應(yīng)鏈、穩(wěn)定生產(chǎn)的結(jié)果。”華虹半導(dǎo)體總裁兼執(zhí)行董事唐均君說。

為助力科技企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)、渡過難關(guān),上海市科委發(fā)揮財稅政策支持作用,上海科創(chuàng)辦保障重大科技基礎(chǔ)設(shè)施有序運(yùn)行和建設(shè),市經(jīng)信委出臺多批復(fù)工復(fù)產(chǎn)“白名單”。

“疫情下,上海芯片制造重點(diǎn)企業(yè)一直保持90%以上產(chǎn)能,中芯國際、華虹集團(tuán)、積塔半導(dǎo)體等保持滿負(fù)荷生產(chǎn),帶動一批裝備、材料、封測等產(chǎn)業(yè)鏈配套企業(yè)加快復(fù)工。”上海市經(jīng)信委主任吳金城說。

新華社上海5月19日電

(責(zé)編:王震、陳鍵)

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